全自动激光切晶圆首现开发区
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在国内晶圆切割领域尚属首例 可大幅降低生产成本
近日,中电4引起癫痫病的主要病因5所研制的全自动激光切割机,经过近三个月的安装调试,考核完成、准备发货。这在国内GPP晶圆切割领域尚属首例。
晶圆切割是半导体芯片制造工艺流程中一道必不可少的工序,目前大多晶圆制造划片厂商,多采用旋转砂轮式切割机,此种工艺需要刀片冷缺水和切割水,均为去离子水(DI纯水)。旋转砂轮式切割需要宝石刀片,每分钟接近4万转的旋转速度,容易发生打刀损坏,生产成本较高。中电45所开发的这台全自动激光切割机名为JHQ-郑州军海脑病医院8100C,可大幅癫痫急救降低生产成本。
JHQ-8100C全自动激光切割机是在半自动机型基础上改进形成的,使用激光对晶圆进行无接触式加工,降低了传统切割方式的运行成本,提高了产品的加工效率和加工成品率,提高了GPP产业的自动化程度。设备融合了图像识别、高精度自动对位、自动切割等技术,可根据癫痫病起因客户需求,实现晶圆的自动上料、切割、下料等动作,将GPP晶圆切割成不同尺寸规格的晶粒。
中电45所是开发区重点企业,目前已成为国内设备行业中的*,在诸多核心要素方面具备冲击世界同业前三强的基础条件,企业的新目标是,到2020年,将把45所建设成为世界同行业前三强,进入中关村*自主创新示范区企业500强。(记者 田艳军)